AMPERTEC^® WOLFRAMHEXACHLORID (WCl₆)

Höchste Reinheit und Materialkompetenz

Unser AMPERTEC^® Wolframhexachlorid ist eine hochreaktive Form von Wolfram; es wird für katalytische Prozesse verwendet und in der Halbleiterindustrie für die Abscheidung von Metallschichten.
Um den speziellen Anforderungen der Katalysatorherstellung gerecht zu werden, ist unser Wolframhexachlorid-Pulver superfein und wird beim Lagern nicht fest.
Wolframhexachlorid ermöglicht die Ringöffnungs-Metathese-Polymerisation (ROMP), ein Prozessschritt z.B. bei der Herstellung hochwertiger Kautschuk-Additive für Hochleistungsgummi oder für den 2-Komponentenspritzguss.

Im Bereich integrierte Schaltungen, wird WCl₆ für die Metallbeschichtung mittels ALD/CVD eingesetzt, z. T. auch unter Verwendung von aus WCl₆ hergestellten metallorganischen Präkursoren. Auch für hochpräzise Atomic-Layer-Etching (ALE)-Prozesse findet WCl₆ Veranwendung.