AMPERTEC® 五塩化タンタル (TaCl5)

高純度で様々な用途に活用可能

当社のAMPERTEC®五塩化タンタルは市販されている中で最も純度が高い5N（99.999%）の製品です。

五塩化タンタルは反応性が高く、この特性を活かし、触媒プロセス、化学合成、コーティング、添加剤などの様々な用途で使用されています。

当製品は粒径が大きいため、流動性に優れています。また、微粉が少なく、加水分解しにくいため、保管性にも優れています。

さらに、ルテニウムとイリジウムの酸化物コーティングを施した、MMO（混合金属酸化物）アノードには、酸化タンタルが使われています。五塩化タンタルは反応性が高く、アノードコーティングに使用される溶液に残留することなく完全に溶解します。耐腐食性の導電性コーティングを施したMMOアノードは、電気分解に使用されています。例えば、電子産業における金属コーティングや、海水の淡水化施設などの電気分解用途として使用されています。

AMPERTEC®五塩化タンタルの「ハイエストピュアリティ」または「半導体」グレードは、半導体向け高純度ALD/CVDプリカーサー原料として使われています。